华,长光所,45所等十多家企业和机构。
消息一出来,尼康是第一个坐不住的,第一时间跑去霓虹国半导体协会投诉,你们搞EUV居然不带上我尼康?你们是不是脑子有问题?
然而,根本没人搭理尼康,这联盟是人家大风集团跟佳能牵头的,就是不想带你怎么了...
而在联盟消息出来的时候,米国那边自然也做出了反应,英特尔现在也没办法阻止两国的合作,但是英特尔高调的跳出来表示他们在EUV领域取得了巨大的突破,还出了一份可以公开的论文,上面有写到EUV光刻机的三大难题,其中最大的问题就是光源。
把光源的研究写的非常非常难,虽然说的也是实话,EUV穿透物体时散射吸收都非常厉害,这使得光刻机需要非常非常强的光源,这个难度是巨大的。连空气都能吸收EUV,所以机器内部还得做成真空的。
而且由于光刻精度是几纳米,EUV对光的集中度要求极高,相当于拿个手电照到月球光斑不超过一枚硬币。反射要求镜子长30cm起伏不到0.3nm,这相当于是燕京到沪上做根铁轨起伏不超过1毫米。
英特尔这些公开论文就是要让世人明白EUV光刻机有多难,然后说英特尔取得了重大突破,至于什么突破,含糊其辞,用一句机密就解释了。
结果就在英特尔发公告的这一天,华夏突然宣布,将KBFF晶体列为战略资源,不再对外出口...
孟谦看着新闻,突然有些莫名的兴奋,“看看谁先搞出EUV光刻机吧...”
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