了不少压力。
总之无论哪方攻克相关技术,都国内半导体领域来说都是很好的消息。
而就在会议进行着的时候,徐源则突然想到,先前在杨老的牵线搭桥下,他参与了箐华赵翔教授的稳态微聚束项目。
通过激光操控储存环中的电子束,使电子束绕环一圈后形成精密的微结构。
也就是微聚束。
通过这种微聚束,能在激光波长及其高次凯波上辐射出高强度窄带相干光。
稳态微聚束光源把同步辐射,和自由电子激光结合起来。
可以得到高功率高亮度高重频,且窄带宽的光源。
并且波长可调。
借助这种特性,完全能代替高端光刻机的深极紫外光源。
甚至就连下一代波长6纳米的光源都能达到。
且不需要同步辐射的滤光器。
凭借这些优点和特性,显然是非常适合EUV光刻。
还能称得上是简单粗暴。
不过稳态加速器光源价格比较昂贵,体积上更是大的惊人。
如果真能够实现的话,恐怕都不能再用光刻机来称呼形容,而是直接变成了光刻工厂。
但从另外一方面来说,这种做法不同于阿麦斯的极紫外光刻机,很多专利问题都能够避免,其可行性还是比较高的。
要知道关于稳态微聚束的验证,先前赵翔团队已经完成相关实验。
既然国产极紫外光刻机的研发工作,目前根本就看不到希望,不知道要多长时间才能追上国际水平,那么有了新的思路肯定要积极实验。
毕竟真能成功的话,效率惊人且庞大的光刻工厂。
不但能彻底解决眼下半导体领域的困境,甚至全球的芯片制造市场都能拿下来。
到时间说不定光刻机都会逐渐被淘汰掉。
……
虽然不知道白新周让他参加这场会议的目的,但既然心里面有了想法,肯定不能这时候还憋在心里不说。
何况他也只是提供一种新的思路,究竟会不会具体展开研究还需要讨论。
于是念头停留在这里,他果断举起了自己的手。
台上白新周面对这样的会议结果,说实话心里面是有些遗憾失望的。
主要继续按部就班的研发下去,确实看不到国产极紫外光刻机诞生的希望。
如果是以前那还好说,起码有比较充足的时间,来用于研究。
可现在面对这样一个局面,耽误的时间越长,在5G领域上还海外的差距也会变得越大。
有可能先前好不容易所积攒的优势,也会因为这次失利变得减退。
而正当他为此忧虑的时候,眼角余光却突然瞥到了台下徐源的动作。
顿时心中一喜。
以他对徐源的了解,在这个时候主动举手,想必会有什么新的消息。
所以不敢有任何迟疑,他连忙对徐源说:
“徐院士是有什么新的观点吗?”
“请讲。”
此话一出,在场众人的目光,也再次集中到了徐源的身上。
迎上大家神情不同的眼神,徐源倒是没想太多,当即便把自己组织好的语言讲出来。
“是这样的院长,之前我曾参加过赵翔教授的稳态微聚束项目,并且成功验证了这个理论。”
“我认为稳态微聚束产生的光源,非常适合进行EUV光刻。”
“其中可行性很高。”
“或许能作为我们另外一种全新的光刻思路。”
光源问题本来就是光刻机重要一环,在场众人中显然也知道稳态微聚束的事,被徐源这么一提醒,思维不由得也快速运转起来。
似乎是在分析着这件事的可行性。
白新周则面露喜色,下意识脱口问道:“是院里正在建设的高能同步辐射光源吗?”
“是的。”
“不过用于光刻研究的话,可能需要进行一定改建。”
徐源面对询问并未卖关子,立刻点头回答。
就这样最终院里初步认可了此方向,并把项目交给徐源尽快拿出详细的方案,如果经过研讨确认可行,那么便会和极紫外光刻机的研究同步进行。
虽然徐源没想到只是参加个会议,所负责的项目又多了一个。
但事有轻重缓急,他自然是欣然同意。
而就在会议结束之后,当天官方也正式进行回应。
明确表示接下来将全力解决高端芯片制造问题,让国内网友振奋的同时,也完全出乎了海外方面的预料。
……