毕竟有了能够直接商用的DPP光源,
在没有理论证明,LPP比DPP更有发展潜力之前,继续攻关LPP就纯属浪费资源了。
其次得到消息的,则是魔都微电子。
作为华国光刻机研制领域的龙头和希望,华国唯一一家,可以量产90nm光刻机的半导体企业,他们自然也是第一时间,就得到了常春光所技术突破的消息。
震惊之余,他们的第一反应,就是立刻向常春光所,采购一台EUV光源,开始进行EUV光刻机的立项研发。
结果常春光所的回复是,最快交货日期也得明年年中。
而原因,竟然是大秦光学不但把实验样机给买了,还直接预定了接下来的四台!
加上常春光所,自己也要一台继续测试优化,
这就意味着,魔都微电子如果确定下订单,就要等第六台,
而且价格还是2亿。
当然,2亿的价格都不是问题,
他们又不知道大秦光学的拿货价是多少,不会心理不平衡。
而且魔都微电子也是隶属科技部的国企,说白了还是科技部掏钱‘奖励’常春光所。
其实对于一台动辄十多亿的EUV光刻机来说,最关键的部件卖个2亿,一点不过份,
甚至可以说很实惠了。
关键是,大秦光学上来定五台是什么鬼?
不是应该先定一台,慢慢研发测试,真把光刻机的样机造出来,可以达到商用级别了,再批量定货量产吗?
“看他们的架势,这是上来就要量产光刻机?”
魔都微电子的董事长朱嘉兴,有些百思不得其解地问公司的技术顾问潘益昌:“他们搞光刻机研发我都理解,但上来定这么多光源,就不怕研发失败,把设备砸手里吗?”
“这个我也想不通,可能康博士有自己的打算吧……”潘益昌苦笑道,
“先是硅片,现在又搞定了EUV光源……种种迹象表明,他这人就是个科学狂人和怪才,以后他做出什么事,我都不奇怪了……”
朱嘉兴:“……”