海湾科技的第一台试验用duv浸润式光刻机的样机。

“我们的这台样机，目前还不具备实际生产的能力，我们的一些细节调整还没有完成，主要还是用来进行我们内部的各种技术测试用的！”

海湾科技的总经理王道林如此对徐申学介绍：“在不少方面，我们的这台样机还有所欠缺，如今我们这一台样机主要测试的还是我们的光源系统，在经过水介质的折射后的效果如何！”

“经过我们之前几次的试验，整体的光源设计结构基本上是达到了要求的，可以做出来了134纳米波长的光源！”

“不过也有一些问题，我们这一套光源系统里的设计，大量采用了asml光刻机光源系统的专利技术，具体商用恐怕会很麻烦！”

徐申学道：“专利这个问题我们后头再说，还是那句话，现在是要解决有无问题，专利问题后头再来慢慢解决！”

整个半导体设备以及耗材领域里，仙女山控股虽然做出来了不少成绩，但是侵犯专利的地方多了去……典型的就是光刻胶。

现在的仙女山控股下的企业，其实已经能够做出来满足先进制程工作使用的光刻胶了，但是并没有进行大规模量产使用。

就是因为这玩意几乎是原版抄袭日本方面的光刻胶，专利侵犯的太多了。

而当下也不是什么太极端的大环境，光刻胶进口并没有受到限制，因此智云集团自然也不可能光明正大的侵犯专利进行大规模生产商用的。

目前来说，这个光刻胶存在的意义就是，作为一个备份……当别人制裁智云，不卖给智云光刻胶的时候，能拿出来光刻胶维持生产。

如果不制裁的话，那就继续放着，然后慢慢琢磨着改进绕开专利。

duv浸润式光刻机也一样的，专利太多了，作为后来者做这东西，侵犯其他厂商的专利是不可避免的。

但是不能因为侵犯专利就不做了。

把这东西做出来，真到了制裁的时候就能直接顶上去使用。

王道林道：“光源系统方面，我们已经算是整合的差不多了，基本达到了技术要求，剩下的还要对其他方面的系统进行整合，核心技术都没什么问题了，很多都是从duv干式光刻机里转化而来的，主要是一些系统整合上的细节问题，这需要一定的时间来打磨！”

“我们估计着，大概明年上半年，我们就能够拿出来第一台真正的样机进行各种测试。”

徐申学道：“明年的话，也差不多了，现在我们的duv浸润式光刻机进口还没有受到限制，你这边还有一些时间，继续好好打磨，争取明年弄一台堪用的样机出来！”

“至于大规模商用，因为这个专利问题还需要看整体的环境变化，如果没有太大环境上的变化，可能你们这边就要继续努力解决一些专利问题了！”

“最后，euv光刻机那边也不能放松了，现在duv浸润式光刻机都还好，而euv光刻机的话，按照我的预计是不太可能从外头获得了！”

“这未来我们集团能不能用上euv光刻机，能不能进军未来的先进制程领域，就要靠你们了！”

“任务还是很重啊，你们要加把劲了！”

王道林这个时候，面露难色：“euv的话，难度更大，虽然我们也获得了大量的euv的光源系统的资料，但是光有资料也不行，我们的部分基础技术还有不小的差距，给我们设计图纸我们现在一时半会的也搞不出来这个euv光源。”

“目前来说，整个euv项目，还是处于技术论证，针对性逐步解决一些底层的技术问题的阶段，虽然进度都还不错，但是需要解决的问题太多了，我们估计着怎么也要个五年以后才能够谈得上初步的核心子系统的设计和制造，而整套euv光刻机的设计和制造，最乐观估计也要七八年以后了！”

徐申学听罢后却是没有什么担忧的神色，而是道：“哦，基础领域的技术问题解决的还算顺利？”

王道林道：“整体还行吧，我们集团旗下的各配套企业的技术研发能力还算不错，仙女山控股的不少企业开始和各高校也设立了众多专门的研究所来解决这些底层技术问题。”

徐申学道：“这就好，问题一项一项的解决！”

“而且，技术进步也不是线性推进的，这说不准中途就研发加速了呢！”

徐申学说话的时候，就已经决定进一步加大对半导体底层技术的投入了。

不仅仅是资金，更重要的是科研系统研发名额的投入。

最近半年来，徐申学的成就点积累的还算不错，尤其是随着多种重要核心产品的发布后，他的成就点是一个月比一个月高，这手底下的s级的科研名额也是越来越多。

经过之前的积累，徐申学的科研系统里，目前已经有了三十几个s级的科研名额了。

这种